EBL/电子束曝光工艺工程师

岗位职责:

1、负责超表面器件（百纳米圆柱阵列）的EBL全流程工艺开发、优化与固化，建立稳定可靠的标准化工艺窗口;

2、通过系统性的DOE（实验设计），持续优化EBL工艺参数（剂量、步距、显影等），解决如纳米结构倒塌、CD均匀性等核心问题；

3、主导EBL工艺与前后道关键工序的协同整合与优化，确保全链条工艺兼容性与稳定性；

4、能够深度分析并解决工艺中出现的复杂问题，具备独立解决问题能力。

任职要求:

1、本科及以上学历，光学/微电子/材料、物理化学相关专业；

2、2年以上EBL工艺经验(必须)；

3、了解半导体前道工艺流程 ，熟悉SEM/AFM等表征手段;

4、具有良好的系统思维能力，逻辑清晰，创新思维突出，具备复杂问题分析与快速决策能力；

5、个人责任心强，做事认真负责，具有一定的抗压能力。