岗位描述
岗位职责
1. 负责CDS(Chemical Delivery System,化学输送系统)类半导体设备的现场安装、调试、运行验证及周期性维护,确保设备符合SEMI标准及客户产线工艺要求;
2. 对CDS设备运行异常进行故障诊断与修复,涵盖气液路控制、压力/流量传感器、阀门执行机构、PLC控制系统及配套软件模块;
3. 执行客户现场的预防性维护(PM)、校准验证及备件更换,按SOP完成记录并提交合规服务报告;
4. 协同客户工艺与厂务团队,支持设备集成验证(FAT/SAT)、工艺匹配测试及量产爬坡阶段的技术保障;
5. 汇总设备运行数据与典型故障案例,向研发与质量部门反馈设计优化建议,推动产品可靠性提升。
岗位要求
1. 本科及以上学历,机械工程、自动化、过程装备与控制工程、微电子科学与工程、仪器科学与技术或相关工科专业;
2. 具备3年以上半导体前道或后道制程中CDS、GDS(Gas Delivery System)、PECVD/ALD等流体输送类设备的售后服务经验;
3. 熟悉SEMI标准(如SEMI F1、F76)、洁净室作业规范及半导体厂务接口要求,掌握PID控制原理、不锈钢管路/阀件特性及高纯介质(特种气体、超纯化学品)输送基础知识;
4. 能熟练阅读英文技术手册、电气/气路图纸,具备PLC(Siemens/Allen-Bradley)基础编程调试能力及常用测试仪器(压力校验仪、泄漏检测仪、气体分析仪)操作经验;
5. 持有压力管道作业证(R1/R2)、危险化学品从业资格证或ISO 9001内审员证书者优先;
6. 具备半导体Fab现场服务经验,适应无尘车间环境及7×24小时响应机制,可接受高频次短期出差。