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蚀刻工艺专家-Etch Process Expert(J21465)

  • 社招
  • 合肥
  • 硕士及以上
  • 其他生产制造职位
  • 发布于 2026-10-16
原岗位链接 ↗

岗位描述

岗位职责
1.蚀刻工艺开发与窗口构建: 主导3D堆叠及TSV蚀刻工艺的开发与验证,结合产品结构与材料特性,制定满足刻蚀速率、选择比及形貌控制要求的工艺方案;
2.DOE设计与参数优化: 主导蚀刻工艺DOE实验设计,系统分析气体流量、功率、压力及温度等关键参数对蚀刻效果的影响,确定并固化可量产复现的工艺窗口;
3.异常分析与良率提升: 主导蚀刻制程中的异常排查与缺陷分析,协同整合团队定位根因并推动改善,持续提升工艺能力指数与产品良率;
4.设备导入与产能建设: 主导蚀刻设备(涵盖AMAT、LAM、NAURA、AMEC等平台)的功能评估、厂验收与工艺调试,建立设备验收标准与产能基线,保障产能快速释放与稳定运行;
5.技术沉淀与标准化: 主导蚀刻工艺参数标准化与操作规范建设,迭代更新标准流程与工艺案例库,沉淀蚀刻工艺经验,提升团队整体技术能力。

岗位要求
1.教育背景与专业知识:硕士及以上学历,微电子/物理/化学/材料等专业,具备扎实的等离子体蚀刻原理与半导体器件物理知识;
2.专业技能与资格:能使用AMAT、LAM、NAURA、AMEC等蚀刻设备完成工艺开发与参数优化,具备DOE实验设计与数据分析能力,能阅读英文技术文献与设备手册;
3.行业与专业经验:10年以上前段fab蚀刻工艺经验,其中包含后端(BEOL)蚀刻开发经历,有3D堆叠或TSV相关蚀刻工艺开发经验者优先;
4.项目/任务成果:主导或作为核心成员完成至少2个蚀刻工艺开发或良率改善项目,具备3D集成或TSV工艺开发的量化交付案例;
5.其他要求:具有系统性分析与跨部门协作能力,能主动推动技术风险闭环,工作严谨细致,具备自驱学习与技术创新意识。

其他生产制造职位方向的申请准备

先核对岗位要求与自己的经历,再准备档案、投递和面试。

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