光刻设备工程师

职责描述：

1、设备安装与调试

·负责SUSS系列曝光机(如MA/BA系列、掩模对准机等)的到货验收、安装、调试及验收测试，确保设备符合技术规范。

·协助完成设备移机、升级改造及新功能模块的集成工作。

2、日常维护与保养

·制定并执行设备的预防性维护计划，定期进行设备点检、校准、保养，确保设备稳定运行。

·管理设备备件库存，跟踪关键耗材的使用情况，提出采购建议。

3、故障诊断与维修

·及时响应设备突发故障，进行快速诊断、维修及记录，最大限度减少设备停机时间。

·分析设备重复性问题，提出根本性解决方案并推动实施。

4、工艺支持与优化

·配合工艺工程师进行曝光工艺调试，优化设备参数以提升产品良率与生产效率。

·监控设备关键性能指标，如对准精度、曝光均匀性等，确保工艺稳定性。

5、持续改进

·推动设备自动化、智能化改进项目，提升设备可靠性及生产效率。

·跟踪行业技术动态，提出设备升级或替换建议。

任职要求：

1、本科及以上学历，机械工程、电气工程、自动化、微电子、光电工程等相关专业。

2、3年以上半导体或光电器件行业设备工程经验，熟悉SUSS曝光机(如MA6、MA8、MJBA系列等)者优先。

3、具备精密设备(如光刻机、涂胶显影机、探针台等)维护经验者亦可考虑。

4、熟悉曝光机工作原理，掌握光学对准、曝光能量控制、真空吸附等关键技术模块。

·具备机械、电气、气动、光学基础，能看懂设备图纸及电路图。

·熟练使用万用表、示波器等测试工具，具备基础PLC/软件调试能力。

·了解半导体光刻工艺及洁净室环境要求。

5、具备较强的问题分析与解决能力，能独立处理复杂设备故障。

6、良好的沟通协调能力，能跨部协作支持生产与研发需求。

7、注重细节，责任心强，能适应一定的工作压力及紧急任务安排。